Des substrats piézoélectriques multicouches conçus sur mesure pour la fabrication de filtres RF haute performance, offrant une uniformité de film mince inégalée grâce à la technologie Smart Cut™.
En combinant son expertise des dispositifs à ondes élastiques avec sa technologie Smart Cut™, Soitec a développé des substrats piézoélectriques multicouches conçus pour répondre aux exigences du marché des filtres RF basés sur la technologie des ondes acoustiques de surface SAW – (Surface Acoustic Wave).
Le substrat POI (Piezoelectric On Insulator), associé à des transducteurs interdigités (IDT), permet la réalisation de filtres SAW haute performance capables de satisfaire les exigences strictes des bandes de télécommunication. Il offre des performances RF accrues grâce à un facteur de qualité élevé et à des pertes d’insertion réduites.
Ce substrat présente également des propriétés thermiques optimisées, avec un faible coefficient de fréquence en température (TCF) et une meilleure dissipation thermique.
Aussi, il offre une vitesse de phase bien maîtrisée, une grande flexibilité en terme de bande passante, grâce au facteur de couplage acoustique (k²) sélectionné, et des capacités de multiplexage avancées.
Robuste et compatible avec les lignes de fabrication de packaging et d’assemblage avancés pour les modules Front-End, il est particulièrement bien adapté à une production de masse fort volume.
Description de la structure du produit Connect POI
Le substrat multicouches Connect POI est composé de quatre couches. Les matériaux piézoélectriques sont soit du Lithium de Tantalate LiTaO3, soit du Lithium de Niobate LiTaO3.
Produit LT6-MHB
Wafer 150 mm, à base de LiTaO3 , dédié aux filtres RF du segment de fréquences Mid/High Band, de 1 à plus de 3GHz.
Plusieurs orientations de Silicium et d’angles d’Euler sont disponibles.
Produit LT6-LB
Wafer 150 mm à base de LiTaO3 , dédié aux filtres RF du segment de fréquences Low Band, sous 1 GHz. Plusieurs orientations de Silicium et d’angles d’Euler sont disponibles.
Produit LN6
Produits LT8-LB et LT8-MHB
Wafer 200 mm, pour les filtres RF des segments Low Band et Mid High Band, jusqu’à 3 GHz +.
Bénéfices pour les filtres Rx
Les faibles pertes d’insertion et la réjection hors-bande que le Connect POI permet d’atteindre représentent des leviers technologiques pour les DMS, Double Mode SAW, et toutes autres architectures innovantes de filtres. Cela répond aux critères requis de réjection et sélectivité des canaux adjacents - Adjacent Channel Rejection et Adjacent Channel Selectivity -. Les avantages décrits pour des filtres en transmission Tx s’appliquent également aux filtres en réception Rx.
Multiplexage : du duplexeur au … x-plexeur
Un filtre duplexeur est obtenu en combinant les approches des filtres Tx et Rx, possible sur POI. La versatilité du Connect POI permet d’intégrer sur une même puce des filtres adressant des fréquences différentes: duplexeurs, diplexeurs et multiplexeurs peuvent donc être fabriqués sur une même puce, avec un même niveau de métal pour les électrodes. L’isolation inter-bandes obtenue garantit une performance optimale pour les chemins agrégés.
Un filtre facile à produire et à intégrer
Le multilayers Connect POI est compatible avec diverses variantes de fabrication d’électrodes.. Seuls quelques masques lithographiques sont nécessaires pour réaliser le filtre. Son substrat silicium robuste facilite l’intégration des technologies avancées : WLCSP fine pitch, flip-chip, SiP et assemblage RFFE. Résultat : des rendements nettement supérieurs à ceux du TC-SAW, et applicables à des dispositifs multi-bandes.
Avantages d’un SAW sur POI par rapport à un SAW sur bulk piézo
La structure multicouches du Connect POI offre une amélioration significative des performances de guide d’onde. Elle amplifie les propriétés piézo-électriques et limite les variations thermoélastiques. Et cela, sur un substrat, loin d’être fragile ! De plus, les épaisseurs de chaque couche peuvent être ajustées pour optimiser les performances pour plusieurs bandes de fréquence, ce qui rend le multiplexage performant !
Compatibilité, sélectivité des bandes 5G et coexistence avec le WiFi
L’empilement multicouche du Connect POI offre de meilleures performances de guidage d’ondes, en renforçant les propriétés piézoélectriques et en compensant les variations thermoélastiques du matériau. Le tout, sur un substrat mécaniquement robuste !
Le multiplexage devient possible grâce à la polyvalence du design multicouche du Connect POI.
IEDM 2025
Substrate Vision Summit 2025
RF-SOI & FD-SOI Symposium
Les substrats semi-conducteurs de Soitec permettent une acquisition, un traitement, une communication de données fiables, sécurisés et économes en énergie pour le marché des communications mobiles.